钱学森 等离子清洗技术在微电子工艺的应用分析。


钱学森 等离子清洗技术在微电子工艺的应用分析。
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钱学森 等离子清洗技术在微电子工艺的应用分析。

近几年来 , 生物医学材料无疑是材料研究领域发展最快的一个分支 , 顾名思义 , 由于其应用于生物医学领域 , 除对材料力学等基本性能有要求外 , 还需要材料在生物兼容性、特殊应用环境中的稳定性等诸多方面有人们期望的表现 。
等离子体浸没离子注入沉积是微电子工业的一项新技术 , 因其优良的材料加工制造性能 , 被引入生物医学材料的制备领域 。 其最大优点是能在不改变材料体性能的前提下选择性地优化材料的表面性能 , 尤其适用于改善现有生物医学材料的生物兼容性 , 并缩短生物医学应用前景材料应用和临床研究的时间 。
聚合物在生物医学中的应用是近几十年来高分子材料研究的一个重要方向 。 利用等离子体浸没离子注入处理聚合物材料 , 可使材料表面产生新的功能基团 。 在等离子气氛中 , 聚合物材料表面链段上会形成自由基 , 这些自由基能与来离子源的自由基结合 , 在聚合物表面形成新的功能团 。
在等离子体浸没离子注入过程中 , 自由基的产生起着重要作用 。 一般聚合物材料表面是疏水性的 , 在引入一些极性官能团后 , 材料表面会发生亲水性变化 , 亲水性表面往往可显著改善材料的粘附性 , 提高其生物兼容性 , 向此类材料表面注入氧和水 , 效果显著 。 有时 , 生物医学聚合物材料表面需要更多的疏水 , 使其与组织不容易粘附 , 这时可以氟化物气体为离子源 , 向高分子材料表面引入氟元素 , 大大提高材料的疏水性 。 抗菌剂是生物医药材料的一个重要分支 , 研究表明将银或铜等金属离子注入聚合物材料中 , 可使材料在不改变高分子材料性能的前提下 , 使材料具有抗菌性能 , 可广泛用于医疗器械的抗菌处理 。
【钱学森|等离子清洗技术在微电子工艺的应用分析。】等离子体浸没离子注入沉积技术越来越多地应用于生物医学材料工程 。 由原来的人工替代关节、矫形材料、矫形装置、手术器械 , 逐渐扩展至几乎所有的生物医学相关材料 。 同时 , 等离子体浸没离子注入沉积技术的理论和设备也有了长足的发展 , 面对日益增长的对生物医药材料的需求 , 毫无疑问 , 一种加工工艺相对简单、用途广泛的技术具有肥沃的土壤 , 通过材料、等离子物理、化学、生物和临床医学研究人员共同努力 , 等离子体浸没离子注入与沉积技术无疑会逐渐成为一项成熟的生物医学材料工程技术 。

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